效 能?機 型 8x6 12x12 精度 XY Uxy =2+ L/250μm (L:mm) Uxy =2.6+ L/175μm (L:mm) 精度 Z U 2=3+ L/150μm (L:mm) 重復性 XY 2μm 2.5μm 重復性 Z 2μm 加速度XY 20”/s2 (500mm/s2) 加速度 Z 8”/s2 (200mm/s2) 速度 XY 10”/s (250mm/s) 速度 Z 4”/s (100mm/s) 光學尺讀值 1μm/ 0.5μm / 0.1μm 機 械 性 質(zhì) 量測行程 8”x6”x6”(200x150x150mm) 12”x12”x6”(300x300x150mm) 外觀尺寸 LxWxH 760x635x965mm LxWxH 1090x865x990mm 重 量 130lb (60kg) 270lb (125kg) 床臺荷重 15lb (7.5kg) 25lb (12kg) 床 臺 表層電硬鍍& 固定螺孔 基座材質(zhì) 鋁合金 (選配：花崗巖) 精密滑軌 XY：特殊軌道 Z：線性軌道 移動控制 伺服：CNC，鼠標，下拉式控制。 電 子 系 統(tǒng) 光學鏡頭 Motorized Zoom/ 12：1，17-410X Or 6.5：1，20-250X 影像 & 光源 超高解析/ 彩色系統(tǒng)?白色LED 黑白系統(tǒng)?紅色LED 軟 體 InSpec for Win. 2000 幾何軟件 計算機系統(tǒng) 1.2GHz / 256 MB Ram/ Win. 2000/ CD-RW/網(wǎng)絡卡 使用環(huán)境 68? (20℃)/ 溫度變化量：<2? 濕度：30-80%