供應(yīng)光學(xué)輪廓儀 規(guī)格 NT9100 NT9300 NT9800 測(cè)試功能 非接觸式，適用于三維形貌，表面，薄膜，摩擦學(xué) 物鏡 1.5倍，2.5倍，10倍，20倍，50倍，可達(dá)0.75至100倍放大倍數(shù)，可選長工作距離，可選自動(dòng)物鏡旋轉(zhuǎn)臺(tái) 視場(chǎng)放大鏡 0.55，0.75，1，1.5，2倍 0.55倍，0.75倍，1，倍，1.5倍，2倍，自動(dòng)感應(yīng)機(jī)動(dòng)選擇器，分級(jí)放大 垂直測(cè)量范圍 標(biāo)配0.1nm至10nm 垂直分辨率 小于0.1nm 垂直少秒速率 24μ米/S 25μ米/S 80μ米/S RMS重復(fù)率 0.05nm 橫向采樣間隔 0.1―13.2μ米 光學(xué)分辨率 最小可達(dá)0.49μ米