鈦升華泵是將鈦材料制作的升華器加熱至高溫，使鈦原子升華出來(lái)并沉積在冷卻的泵壁或其他吸附面上，形成鈦膜，再利用這層活性的薄膜吸附氣體。 鈦升華泵工作時(shí)無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng)、無(wú)碳?xì)浠衔镂廴尽o(wú)磁、無(wú)高壓。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，抽速大，極限真空高等優(yōu)點(diǎn)。 生產(chǎn)的鈦升華泵及電源被廣泛應(yīng)用在加速器、儲(chǔ)存環(huán)、真空電子器件等眾多高科技領(lǐng)域的真空系統(tǒng)中。 2004年，生產(chǎn)的鈦升華泵，應(yīng)用于國(guó)家大科學(xué)工程蘭州重離子加速器。 2006年，生產(chǎn)的鈦升華泵電源，應(yīng)用于國(guó)家大科學(xué)工程北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)。 2006年11月成功中標(biāo)國(guó)家大科學(xué)工程上海光源工程(SSRF)儲(chǔ)存環(huán) SSRF 鈦升華泵及電源（95套）項(xiàng)目招標(biāo)