鈦升華泵是將鈦材料制作的升華器加熱至高溫,使鈦原子升華出來并沉積在冷卻的泵壁或其他吸附面上,形成鈦膜,再利用這層活性的薄膜吸附氣體。 鈦升華泵工作時無噪聲、無振動、無碳氫化合物污染、無磁、無高壓。結(jié)構簡單、使用方便,抽速大,極限真空高等優(yōu)點。 生產(chǎn)的鈦升華泵及電源被廣泛應用在加速器、儲存環(huán)、真空電子器件等眾多高科技領域的真空系統(tǒng)中。 2004年,生產(chǎn)的鈦升華泵,應用于國家大科學工程蘭州重離子加速器。 2006年,生產(chǎn)的鈦升華泵電源,應用于國家大科學工程北京正負電子對撞機。 2006年11月成功中標國家大科學工程上海光源工程(SSRF)儲存環(huán) SSRF 鈦升華泵及電源(95套)項目招標